Advanced sample preparation 
Fischione Instruments의 M1062 TrionMill은 SEM 이미징 및 분석에 필요한 샘플 표면 특성을 생성하기 위한 탁월한 도구입니다.
TrionMill의 3개의 이온 소스는 평면 및 단면 샘플의 대규모 영역의 밀링을 제공합니다. 고 에너지 작동으로 넓은 영역 (최대 50mm)의 신속한 밀링이 가능합니다. 저에너지 작동으로 부드러운 시료 연마가 가능합니다.

Accepts large sample sizes
Trion Mill은 이온 밀링으로 달성 할 수있는 가장 크고 균일한 평면 영역을 생성합니다.
Planar : 최대 직경 50mm x 높이 25mm [1.968 x 0.787 인치]
Cross-section : 최대 : 10 x 10 x 4mm [0.39 x 0.39 x 0.157 인치]

Cross-section station (optional)
Fischione Instruments의 Cross-section station은 SEM Mill에서 이온 밀링을 위해 준비된 깨끗한 횡단면 샘플을 생성하기위한 도구입니다.

Quick sample transfer
공압식 진공 게이트 밸브가 있는 front-loading load lock은 높은 시료 처리량을 가능하게합니다. bayonet 샘플 홀더의 퀵 릴리스 기능은 샘플 전송 속도를 높입니다. 샘플 이송로드는 사용하지 않을 때 접혀집니다.

Precise angle adjustment
이온 소스는 원하는 밀링 각도를 제공하기 위해 기울어집니다. 지속적으로 조정 가능한 이온 소스 기울기 각도 범위는 0 ~ + 10 °입니다. TrueFocus 이온 소스 중 하나, 둘 또는 세 개를 사용하도록 선택할 수 있습니다. 각 이온 소스 빔 각도가 함께 움직입니다.

Automated milling angle adjustment
터치 스크린을 사용한 자동 밀링 각도 조정을 통해 밀링 프로세스 전체에 걸쳐 밀링 각도의 자동 조정을 포함하는 다단계 밀링 시퀀스를 생성 할 수 있습니다.

Programmable sample motion
샘플 회전은 회전 속도가 조절 가능한 360 ° 연속 회전과 Rocking 기능이 있습니다. 자동 높이 감지는 반복 가능한 결과를 산출하는 밀링 평면을 설정합니다.

Integrated stage cooling (optional)
TrionMill의 액체 질소 시스템은 완전히 통합되고 연동되는 인클로저 내에 듀어가 있습니다. 듀어는 쉽게 접근 할 수 있도록 작업자 근처에 위치합니다. 터치 스크린에 온도가 지속적으로 표시됩니다. 스테이지 냉각 기능은 최대 18 시간의 저온 조건을 제공합니다.

Programmable temperature
Trion Mill은 주변 온도와 극저온 사이의 특정 온도를 프로그래밍하고 유지하는 기능을 제공합니다.
극저온에서 밀링이 끝나면 샘플 서리 및 오염을 방지하기 위해 환기 전에 스테이지 온도가 자동으로 주변 온도로 증가합니다. 열 보호 장치는 듀어의 액체 질소가 고갈되면 이온 소스가 비활성화되는 특정 단계 온도 임계 값으로 프로그래밍 할 수 있습니다.

Vacuum/inert gas/cryogenic system (optional)
이 시스템을 사용하면 진공, 불활성 가스 또는 극저온에서 시료를 SEM 또는 FIB로 직접 전송할 수 있습니다. 시스템은 이송 중에 고진공을 유지하기 위해 능동 펌핑을 사용합니다. 전송 시스템은 Quorum Technologies Ltd.와의 공동작업물입니다.

Sample viewing (optional)
이온 밀링 공정은 옵션인 고배율 현미경 중 하나를 사용할 때 밀링 위치를 현장에서 모니터링 할 수 있습니다.
고배율 (525X) 현미경
고배율 (1,960X) 현미경
보기 창은 셔터로 보호되어 샘플 관찰을 방해 할 수있는 스퍼터링 된 물질의 축적을 방지합니다.

Sample image acquisition (optional)
샘플 이미지 획득 옵션은 CMOS 카메라와 모니터를 사용하여 밀링 중에 현장에서 샘플을 보고 이미지를 캡처합니다. 이 시스템은 Delayering 프로세스를 모니터링하는데 유용합니다.

Automatic termination
이온 밀링 공정은 경과 시간 또는 온도에 따라 자동으로 종료 될 수 있습니다.

Remote diagnostics
Fischione Instruments는 최대 기기 가동 시간을 지원하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 이를 위해 Trion Mill에는 원격 진단 기능이 있습니다. 인터넷에 연결되면 Fischione Instruments Service에서 Trion Mill에 액세스하여 신속한 문제 해결 및 진단 지원을받을 수 있습니다.