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Atom Probe Assist는 FIB 밀링 단계 사이의 곡물 경계 위치를 모니터링하여 이후 Atom Probe 분석을 위해 곡물 경계가 탐지되고 올바르게 배치되도록 하는 혁신적인 방법을 제공합니다. Atom Probe Assist를 사용하면 전송-EBSD(t-EBSD)를 사용하여 결정학 방향을 측정하고 단일 계측기 내에서 빠르고 쉽게 곡물 경계 위치를 결정할 수 있습니다.
곡물경계분리 해석을 위한 APT시료 개선 방안
· APT(Athom Probe Tomography)는 원자 수준에서 3D 화학적 구성과 이미징을 제공하는 재료 분석 기법이며, 곡물 경계 분리 분석에 특히 적합합니다.
· APT 분석은 매우 날카로운 끝을 가진 시료를 필요로 하며, 곡물 경계의 분석을 위해서는 효과적인 특성화가 가능하도록 표본 팁으로부터 약 200 nm 이내에 이러한 경계를 배치해야 한다.
기존 APT 샘플 준비
송전 전자현미경(TEM)에서 전기 연마 및 분석 또는 FIB(Focial Ion Beam)를 사용한 준비를 사용하는 APT 표본의 전통적인 준비는 종종 문제가 되고 비효율적입니다.
Atom Probe Assist는 APT Tips 의 t-EBSD 측정에 최적화되어 있습니다
Atom Probe Assist는 다음과 같은 이점을 제공합니다.
· 무작위 곡물 경계가 검은색으로 음영 처리되고 현장별 FIB 리프트아웃 샘플링을 지원하기 위해 특수 트윈 경계가 흰색으로 음영 처리되는 다양한 곡물 경계 유형(아래 왼쪽)을 식별합니다.
· 환상 FIB 밀링 단계 사이의 곡물 경계 위치를 결정합니다(아래 오른쪽).
Smart t-EBSD Pattern Collection
· 원뿔형 APT 검체는 검체 두께 및 형상의 일정한 차이로 인해 사용 가능한 t-EBSD 패턴을 수집하기 위한 고유한 난제를 제공합니다.
· 특수화된 배경 보정은 영상 화질을 개선하고 APT 검체의 얇은(아래 왼쪽) 영역과 두꺼운(아래 오른쪽) 영역 모두에서 정확한 밴드 감지 및 패턴 색인을 제공하기 위해 개발되었습니다.
· 또한 디텍터 수집 매개 변수는 t-EBSD 컬렉션에 맞게 최적화되어 필요한 정보를 얻는 데 필요한 시간과 노력을 줄여줍니다.
Specimen Qualification in a Single Instrument
· Atom Probe Assist에는 FIB-SEM이 필요하며, 이 FIB-SEM은 APPT 분석에 필요한 치수까지 시편을 몰딩하는 데 사용됩니다.
· 표본은 표본 끝이 FIB 빔에 평행하도록 계측기에 배치된다.
· 이 구성을 사용하면 표본을 이동하지 않고 t-EBSD 데이터를 밀링, SEM 이미징 및 수집할 수 있습니다.
· 이는 두 기기 사이에서 이동할 때 발생하는 손상의 위험을 제거하여 시편 수율을 개선한다.
향상된 곡물 경계 대비
· 그레인 경계 위치는 t-EBSD 매핑을 통해 결정됩니다.
· 각 FIB 밀링 단계 간에 이 데이터를 수집하여 곡물 경계의 위치를 탐지하고 모니터링할 수 있습니다.
· 곡물 경계가 시료 정점으로부터 요구되는 거리 내에 있으면 검체는 Atom Probe 분석을 위해 준비된다.
· 신속하게 ( collected 3분) 지도를 수집하여 곡물 경계 위치를 신속하게 결정하고 시료 오염을 최소화할 수 있습니다.
곡물 경계 자격
· Atom Probe Assist는 샘플에서 기존 EBSD 데이터를 수집하여 관심 샘플에서 곡물 경계 문자를 결정하는 데도 사용할 수 있습니다.
· 다른 곡물 경계 유형이 다른 분리 행동을 나타내므로 곡물 경계 분리 문제를 이해하는 데 있어 곡물 경계 문자 정보가 중요합니다.
· 이는 다양한 재료 특성 동작으로 해석되며, 입자 경계 특성을 노출하면 Atom Probe 준비 및 분석을 위해 특정 경계를 쉽게 지정할 수 있습니다.
Atom Probe Assist is used with a Hikari Plus EBSD Camera
· 초당 최대 1,000개의 인덱스된 지점까지의 데이터 수집 속도
· 방향 정밀도 < 0.1°
· 고품질의 EBSD 및 t-EBSD 패턴 수집을 위한 저소음 검출기
· 고속/고감도 작동에 최적화된 인광 스크린
Atom Probe Assist is used with TEAM™ EBSD Software
· 맞춤형 Atom Probe Assist 데이터 수집 모드
· 변속기-EBSD 모드
· 동적 데이터 수집 매개 변수의 일관된 최적화를 위한 스마트 시스템
· 1nm까지 자동 또는 사용자 정의 단계 크기를 가진 맞춤형 APT 지도 형태